|
工作区尺寸 |
Φ600 × H1800 mm — Φ8650 × H6000 mm（可定制） |
|
|---|---|---|
|
工作温度 |
1050 — 1200 ℃ |
|
|
出料方式 |
圆柱型上出料、圆柱型下出料 |
|
|
加热方式 |
优质石墨电阻加热 |
|
|
升温速率 |
RT → 工作温度 |
4 — 12 h |
|
温度均匀性 |
≤ ± 5 ℃ |
|
|
降温时间 |
1200 ℃ → 100 ℃ |
≤ 40 h |
|
压升率 |
≤ 2 Pa/h |
|
● 膜层质量优异，结合强度高
●精准温控，工艺稳定性强
●真空洁净环境，成品纯度高
● 工艺适配性广，定制性强
● 智能化运行，高效节能
●全方位安全联锁保护，运行可靠
上一个：
没有了！
