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化学气相沉积炉（内蒙古某企业二期项目）
工作区尺寸：
φ4200×3000mm
出料方式：下出料
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化学气相沉积炉（内蒙古某企业一期项目）
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化学气相沉积炉（陕西某企业项目）
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